高精度和高速率的定位移动平台是我们系统的基础。直接驱动技术确保了高速率移动和最大的可靠性，而高达10nm的运动分辨率则能够保障极高精度的定位需求。

通过功能丰富强大的工艺流程过程控制软件TestMaster，我们能过方便快捷的对各个运动轴和辅助仪器设备进行参数设置和组态，既能单独构建成定位子系统，也能够集成到生产流水线中，与其他工艺环节的各种仪器设备进行信息交换，也可以连接到顾客的生产数据库。